西安光機(jī)所瞬態(tài)光學(xué)與光子國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室科研人員在討論科研進(jìn)展。

西安光機(jī)所瞬態(tài)光學(xué)與光子國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室科研人員在進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)試。

■ “十四五”期間，陜西將圍繞能源化工、裝備制造、新材料、光子、種業(yè)工程等陜西優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)，以及對(duì)未來產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重大影響的前瞻技術(shù)領(lǐng)域，啟動(dòng)建設(shè)20家左右共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)。

■ 陜西省共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)立足于開展行業(yè)共性技術(shù)研發(fā)與應(yīng)用，以關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)、科研成果中試、產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新為核心使命，為陜西省高質(zhì)量發(fā)展提供源頭技術(shù)供給。

■ 陜西省共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)建設(shè)根據(jù)相關(guān)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域發(fā)展特點(diǎn)和實(shí)際，有效統(tǒng)籌重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、工程技術(shù)研究中心、龍頭骨干企業(yè)、高校院所等優(yōu)質(zhì)創(chuàng)新平臺(tái)資源，成熟一家、啟動(dòng)一家。

■ 今年3月30日，在秦創(chuàng)原創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)平臺(tái)建設(shè)大會(huì)上，我省啟動(dòng)了先進(jìn)稀有金屬材料、光子產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體與集成電路、高檔數(shù)控機(jī)床等首批4個(gè)共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)建設(shè)工作。經(jīng)過半年多的發(fā)展，目前，各平臺(tái)建設(shè)進(jìn)入快車道，在共性技術(shù)研發(fā)、行業(yè)開放共享、企業(yè)孵化培育、人才引進(jìn)培養(yǎng)、體制機(jī)制創(chuàng)新等方面開展了一系列探索，并取得突破。

攻關(guān)，突破共性技術(shù)

陜西在半導(dǎo)體與集成電路領(lǐng)域不僅具有突出的研發(fā)實(shí)力，還有較好的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)。其中，以碳化硅、氮化鎵為代表的寬禁帶半導(dǎo)體材料，被稱為第三代半導(dǎo)體材料，是支撐信息、能源、交通、先進(jìn)制造、國(guó)防等領(lǐng)域發(fā)展的重點(diǎn)新材料，是國(guó)際研究前沿和競(jìng)爭(zhēng)焦點(diǎn)。

為彌補(bǔ)實(shí)驗(yàn)室成果向工業(yè)化量產(chǎn)推進(jìn)的短板，陜西省半導(dǎo)體與集成電路共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)牽頭單位陜西半導(dǎo)體先導(dǎo)技術(shù)中心加快碳化硅、氮化鎵兩條研發(fā)中試線的建設(shè)。目前，碳化硅中試平臺(tái)搭建已經(jīng)初步完成，并成功研發(fā)出650—3300伏碳化硅器件，其中多款產(chǎn)品填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，部分型號(hào)已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

隨著這兩條中試線的投入使用，陜西也將加快實(shí)現(xiàn)寬禁帶半導(dǎo)體芯片完整中試工藝能力，加速突破寬禁帶半導(dǎo)體先進(jìn)制造瓶頸，加快建設(shè)具有世界一流水平的寬禁帶半導(dǎo)體創(chuàng)新中心。

啟動(dòng)建設(shè)以來，首批共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)在攻克關(guān)鍵技術(shù)、服務(wù)共性需求上，均取得了成績(jī)：秦川機(jī)床（西安）技術(shù)研究院以共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)為依托，聯(lián)合行業(yè)高精度、形狀復(fù)雜零件加工單位，研制的高速立式加工設(shè)備，突破了高加速度機(jī)床共性技術(shù)難題，滿足了國(guó)產(chǎn)機(jī)床高速、高精度的加工需求；陜西追光光子產(chǎn)業(yè)先導(dǎo)創(chuàng)新中心完成LED芯片制造工藝線搭建，為行業(yè)提供光刻、刻蝕、激光劃片等全線工藝共性服務(wù)；西安稀有金屬材料研究院攻克了大規(guī)格新型耐蝕鈦合金鑄錠的工業(yè)規(guī)模制備技術(shù)、大口徑管材的成型技術(shù)和高質(zhì)量冷拉焊絲工業(yè)化制備技術(shù)，完成了我國(guó)重大工程關(guān)鍵設(shè)備所需的多品種、多規(guī)格新型耐蝕鈦材的制備任務(wù)。

推動(dòng)關(guān)鍵共性技術(shù)突破，為高質(zhì)量發(fā)展注入源源動(dòng)力成為共識(shí)。今年以來，省科技廳先后發(fā)布了兩批“兩鏈”融合重點(diǎn)專項(xiàng)“揭榜掛帥”課題榜單。聚焦秦創(chuàng)原創(chuàng)新資源，省科技廳啟動(dòng)部署了機(jī)床、新材料、半導(dǎo)體集成電路、新能源等“兩鏈”融合重點(diǎn)專項(xiàng)。榜單課題皆為我省重點(diǎn)優(yōu)勢(shì)行業(yè)的關(guān)鍵共性技術(shù)需求。

制定“揭榜掛帥”“創(chuàng)新聯(lián)合體”“共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)”等工作指引，支持在秦創(chuàng)原先行先試，是省科技廳加強(qiáng)核心技術(shù)攻關(guān)，推動(dòng)“兩鏈”融合的重要舉措�！拔覀儗⒗^續(xù)加大力度支持高校、院所和企業(yè)在秦創(chuàng)原窗口區(qū)組建創(chuàng)新聯(lián)合體，聯(lián)合建設(shè)共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)，聚焦產(chǎn)業(yè)鏈、供應(yīng)鏈關(guān)鍵核心技術(shù)，開展研發(fā)攻關(guān)與創(chuàng)新突破，提升產(chǎn)業(yè)鏈競(jìng)爭(zhēng)力�！笔】萍紡d廳長(zhǎng)孫科表示。

共享，賦能產(chǎn)業(yè)發(fā)展

光子產(chǎn)業(yè)被認(rèn)為是21世紀(jì)具有巨大潛力的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。

陜西擁有西安光機(jī)所、西安交通大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、空軍工程大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)等一批光子學(xué)科健全、特色鮮明的高校院所，孵化出了以炬光科技、中科微精、奇芯光電、唐晶量子等為代表的一批國(guó)內(nèi)領(lǐng)先企業(yè)，產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速。但是，光子產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)環(huán)節(jié)仍存在“卡脖子”瓶頸，亟待突破。

在中科院西安分院院長(zhǎng)、中科院“大規(guī)模光子集成芯片”戰(zhàn)略科技先導(dǎo)B專項(xiàng)首席科學(xué)家趙衛(wèi)看來，建立我省的光子共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)，通過靈活有效的協(xié)同創(chuàng)新，開展產(chǎn)業(yè)前沿技術(shù)研究與共性關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)，是突破瓶頸的重要出路。

5月13日，陜西省光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合體成立。陜西省光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合體是根據(jù)省委、省政府關(guān)于推進(jìn)光子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的系列工作部署，由陜西省科學(xué)院整合光子產(chǎn)業(yè)相關(guān)企業(yè)，聯(lián)合西安光機(jī)所和西安交通大學(xué)等省內(nèi)光子技術(shù)優(yōu)勢(shì)創(chuàng)新單位組建而成�！瓣兾魇」庾赢a(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合體將開展對(duì)光子產(chǎn)業(yè)的頂層設(shè)計(jì)、統(tǒng)一規(guī)劃和整體部署，打造‘政產(chǎn)學(xué)研’多方融合的光子技術(shù)與產(chǎn)業(yè)新型研發(fā)機(jī)構(gòu)，推動(dòng)陜西光子產(chǎn)業(yè)‘政產(chǎn)學(xué)研’各主體戰(zhàn)略思想統(tǒng)一、戰(zhàn)略部署協(xié)同、戰(zhàn)略任務(wù)聯(lián)動(dòng)。”趙衛(wèi)介紹。

頂層設(shè)計(jì)、整體部署、協(xié)同發(fā)展是共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)的核心。陜西半導(dǎo)體先導(dǎo)技術(shù)中心搭建公共測(cè)試服務(wù)平臺(tái)，建立集成電路測(cè)試、功率器件測(cè)試、射頻器件測(cè)試、電子元器件失效分析和DPA等功能，開展行業(yè)五大類公共測(cè)試和服務(wù)，整合省內(nèi)重要測(cè)試單位，為企業(yè)提供集成電路測(cè)試服務(wù)上百次，提升了現(xiàn)有測(cè)試資源利用率，實(shí)現(xiàn)“一站式”測(cè)試服務(wù)能力；秦川機(jī)床（西安）技術(shù)研究院在機(jī)床行業(yè)可靠性技術(shù)研究領(lǐng)域取得突破，并得到推廣應(yīng)用，建立為行業(yè)服務(wù)的“機(jī)床醫(yī)院”和機(jī)床技術(shù)診斷與質(zhì)量評(píng)價(jià)體系，開展可靠性設(shè)計(jì)技術(shù)、主要零部件綜合性能與可靠性評(píng)估，提升機(jī)床行業(yè)整體技術(shù)水平；西安稀有金屬材料研究院利用臺(tái)式掃描電鏡、離子減薄儀、摩擦磨損試驗(yàn)儀等檢測(cè)設(shè)備，開展金屬材料行業(yè)檢測(cè)服務(wù)，建成分析測(cè)試中心、腐蝕評(píng)價(jià)中心和高性能計(jì)算中心，為金屬材料行業(yè)的檢測(cè)評(píng)價(jià)提供實(shí)驗(yàn)條件。

培育，強(qiáng)化內(nèi)生動(dòng)力

在秦創(chuàng)原共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)的帶動(dòng)下，先進(jìn)稀有金屬材料、光子產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體與集成電路、高檔數(shù)控機(jī)床領(lǐng)域潛力不斷釋放：

今年6月，西北有色金屬研究院控股的西安凱立新材料股份有限公司在上交所科創(chuàng)板成功上市。西北有色金屬研究院是陜西省先進(jìn)稀有金屬材料共性技術(shù)研發(fā)平臺(tái)牽頭單位，依托西安稀有金屬材料研究院集聚整合相關(guān)科研力量和創(chuàng)新資源，帶動(dòng)上下游優(yōu)勢(shì)企業(yè)、高校院所共同參與，推動(dòng)先進(jìn)稀有金屬材料技術(shù)研發(fā)與成果轉(zhuǎn)化邁上新臺(tái)階，走向高質(zhì)量發(fā)展。

11月1日，萊特光電成功通過科創(chuàng)板2021年第80次上市委員會(huì)審議會(huì)議。這是繼今年9月炬光科技首發(fā)過會(huì)科創(chuàng)板后，光子產(chǎn)業(yè)鏈誕生的又一家科創(chuàng)板企業(yè)。截至目前，陜西已有100余家光子技術(shù)企業(yè)，形成了光子制造、光子信息、光子傳感、生物光子等幾大產(chǎn)業(yè)集群，會(huì)聚了一批全球光子產(chǎn)業(yè)領(lǐng)軍人才。陜西光子產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)資源不斷集聚，產(chǎn)業(yè)集群初具規(guī)模，預(yù)計(jì)到2023年，將實(shí)現(xiàn)千億級(jí)產(chǎn)業(yè)規(guī)模目標(biāo)。

陜西半導(dǎo)體先導(dǎo)技術(shù)中心吸引集成電路領(lǐng)域初創(chuàng)企業(yè)30余家，孵化出以叩持電子、啟明星半導(dǎo)體等為代表的一批集成電路領(lǐng)域優(yōu)秀創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)企業(yè)，預(yù)計(jì)今年服務(wù)企業(yè)營(yíng)業(yè)收入超2億元，并將持續(xù)培養(yǎng)半導(dǎo)體領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新后備力量。

秦川機(jī)床（西安）技術(shù)研究院與陜西高端機(jī)床創(chuàng)新研究院在西咸新區(qū)共同出資組建陜西秦川高端齒輪裝備有限公司，以齒輪磨床性能提升為小切口，圍繞高端數(shù)控系統(tǒng)研發(fā)、伺服性能保障技術(shù)、高速高效加工工藝技術(shù)、數(shù)控機(jī)床正向設(shè)計(jì)技術(shù)和測(cè)試檢測(cè)技術(shù)等“卡脖子”技術(shù)領(lǐng)域開展專項(xiàng)攻關(guān)，形成“頂尖人才+優(yōu)勢(shì)資源”配置的技術(shù)攻關(guān)團(tuán)隊(duì)。

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